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布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪(台阶仪)

发布时间:2022-07-08浏览:70

 

       1968年台阶仪Dektak Ⅰ面世以来,迄今已有50多年的发展历程。通过整合技术,突破创新,Dektak系列台阶仪已经来到了第十代,目前我们主要有两种型号:桌面式DektakXT(图1),样品兼容可到8寸;另外一款是集成了防震台一体化的落地式DektakXTL,它的兼容样品可以达到12寸(图2)。布鲁克第十代Dektak 产品在过去五十年不断的技术创新,得到众多使用客户的认可。

 

                  图1                                                                                         图2


台阶高度重现性低于 4 Å

       Dektak XT 是使用single-arch 设计的探针轮廓仪, single-arch 设计及智能电子器件,大大改善了设备稳定性,进一步提高防震性能。Dektak XT在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现,台阶高度重复性可低于4Å。使用 single-arch 结构比原先的悬臂梁设计更加稳固,降低了对不利环境条件的敏感性,如声音和震动噪音。


方便的更换探针技术让一切变得轻松

        对多用户仪器而言,能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。Dektak台阶仪的转接头和探针通过强磁吸附进行连接,在探针更换工具的配合下,更换探针简单、方便、易操作(图3)。DektakXT 新的针尖自动校准,消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一技术让其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满足使用的要求,Bruker 提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格,包括用于深沟渠测量的高径比针尖。

 

图3


LVDT:主流的微位移传感技术广泛应用于航空航天等领域

      作为探针式表面轮廓仪核心的部件—传感器,Dektak XT采用LVDT传感器原理,即Linear Variable Differential Transformer线性可变差动变压器(图4),其优势包括:无摩擦测量、延长机械寿命、提高分辨率、零位可重复性、轴向、坚固耐用、环境适应性、输入/输出隔离。

 

图4


带机械臂的全自动传片台阶仪


       全自动型台阶仪(cassette-to-cassette台阶仪),将Bruker DektakXTL台阶仪系统和机械传送臂相结合(图5),实现了全自动上下片,通过图形识别等功能实现自动准确定位(样品定位精度在±5微米),自动检测,数据自动输出和上传,减少人工成本和人员误差,可以实现75mm到300mm晶圆检测全自动化。为半导体行业在工艺开发,质量保证与质量控制应用方面进行了优化。

 


图5

       台阶仪主要用于材料表面的2D,3D测量,可以测试台阶高度,表面粗糙度;同时也适合材料表面沟槽深度的测试;能够在微电子,半导体及化合物半导体,太阳能、超高亮度发光二管(LED)、OLED、ITO、微流控、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。Dektak台阶仪测量薄膜材料可以达到埃级重现性和1nm-1mm的测量范围。

图6

图7

 

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